輪廓儀輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-05-24

2)共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多針 孔盤、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過多針 孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的針 孔減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過多針 孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。輪廓儀輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎

NanoX-系列輪廓儀代 表性客戶

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯

半導(dǎo)體,華潤安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電,臺(tái) 灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī)、京東方、深圳夏瑞科技等  



具備 Global alignment & Unit alignment

自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm

XY運(yùn)動(dòng)速度 最快


如果有什么問題,請聯(lián)系我們。


輪廓儀輪廓儀免稅價(jià)格幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。

    輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請?jiān)L問我們官網(wǎng)。

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供全 面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測量誤差降低到亞納米級別。


 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿足用戶對各項(xiàng)2D,3D參數(shù)檢測需求的同時(shí),依然能夠保持高重復(fù)性,高穩(wěn)定性的運(yùn)行,其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 物鏡是輪廓儀最核 心的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求。

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度 最快



表面三維微觀形貌測量的意義

在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有最直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更全 面,更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較全 面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種,其中以非接觸式測量方法為主。



隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。聯(lián)電輪廓儀有誰在用

200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。輪廓儀輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等)

幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀最核心的部件,

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。 輪廓儀輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是一家有限責(zé)任公司企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營理念;“誠守信譽(yù),持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則,致力于提供高質(zhì)量的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)自成立以來,一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。

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