氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優點,達到了細檢漏的目的。專業用于電廠檢漏的氦檢儀關鍵部件均為進口,性能穩定可靠。常州分體式氦質譜檢漏儀生產廠家
隨著汽車行業的迅猛發展,汽車空調行業對氦檢的需求越來越大,對氦檢的性能指標要求越來越高。氦檢儀在汽車空調蒸發器、冷凝器和壓縮機檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優點的同時,更具備操作方便、工作節拍快、誤判率低等獨有特點。對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實現氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機內部真空系統的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個環節如果有泄漏的話都會增加生產成本,所以電廠檢漏在實際生產中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。模塊式氦質譜檢漏儀哪個牌子好氦檢儀自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。
氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識:(1)前級真空泵的定期換油及深度保養;(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。
氦檢儀的撿漏方法有哪些?背壓法(壓氦法)真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,迫使氦氣進入泄漏工件,再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出??筛鶕ぜ笮《ㄖ乒摅w大小。可檢測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業:電子元器件,電子封裝等。氦質譜檢漏背壓法優點:檢測靈敏度高;可以進行批量化檢測;一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好,再將器件放入加壓罐內壓入氦氣,氦氣進入有漏孔的器件內部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測,其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件,這一批的總漏率沒超過報廢預定值,說明這一批合格;總漏率超過報廢預定值可以取出一半,剩下的一半繼續檢漏,這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中,依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施。
氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計,其基本原理是根據離子在磁場中運動時,不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1優于200Pa時,打開入口閥1、2,關閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空,當P1降至20Pa時,入口閥2關閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦檢儀檢漏范圍寬:不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。溫州氦質譜檢漏儀供應商家
氦檢儀檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。常州分體式氦質譜檢漏儀生產廠家
氦質譜檢漏儀操作注意事項:1、產品放入加壓罐中加壓時,不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產品半檢漏時,按壓住的組件不能挪動或者強行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進行重氟油檢漏時,產品不能直接放進油箱中,而應把油箱中的托盤拿出,把產品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。常州分體式氦質譜檢漏儀生產廠家