真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。本書所述壓力的測(cè)量是指比大氣壓力小得多的...
1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過物理形變或液柱高度差來測(cè)量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計(jì)原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低。缺點(diǎn):精度較低,不適用于...
皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來測(cè)量真空度。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂(電阻)。在測(cè)量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí),由于氣體分子數(shù)量減少,加...
真空計(jì)與氣體脫附效應(yīng)材料放氣(如橡膠釋出H?O)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量值虛高。解決措施:① 選用低放氣材料(Viton替代橡膠);② 烘烤(150℃可加速脫附);③ 分離測(cè)量(將規(guī)管安裝在抽氣口遠(yuǎn)端)。超高真空系統(tǒng)放氣率需<10?1? Pa·m3/s·cm2。18. ...
真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn):1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使...
真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控:電容規(guī)測(cè)腔體壓力(1~10?2Pa),電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)(10?2~10??Pa)。ALD設(shè)備要求真空計(jì)耐腐蝕(如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī))。數(shù)據(jù)采樣率需>10Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14.真空計(jì)的壽命...
真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控:電容規(guī)測(cè)腔體壓力(1~10?2 Pa),電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)(10?2~10?? Pa)。ALD設(shè)備要求真空計(jì)耐腐蝕(如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī))。數(shù)據(jù)采樣率需>10 Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14. 真空...
真空的定義與分級(jí)真空是指壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài),根據(jù)壓力范圍分為低真空(103~1 Pa)、中真空(1~10?1 Pa)、高真空(10?1~10?? Pa)和超高真空(<10?? Pa)。低真空常用于吸塵器,高真空用于電子顯微鏡。真空分級(jí)依據(jù)氣體分子...
概述陶瓷薄膜真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜,通過測(cè)量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號(hào)轉(zhuǎn)換:形變通過壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。信...
真空計(jì)的主要特點(diǎn):1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器...
真空計(jì)相關(guān)知識(shí) 真空計(jì)的通信接口現(xiàn)代真空計(jì)標(biāo)配RS485/Modbus協(xié)議,**型號(hào)支持EtherCAT(延遲<1μs)。數(shù)字輸出可減少模擬信號(hào)噪聲,如電離規(guī)的離子電流低至10?12A。物聯(lián)網(wǎng)型真空計(jì)集成自診斷功能(如INFICON的SmartGau...
陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。主要特點(diǎn)耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕緣性...
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測(cè)真空泵和真空腔室的壓力。實(shí)驗(yàn)室研究:用于各種真空實(shí)驗(yàn)。真空鍍膜:確保鍍膜過程在所需真空度下進(jìn)行。食品包裝:用于真空包裝機(jī)的壓力監(jiān)測(cè)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護(hù):...
真空計(jì)的拆裝需要謹(jǐn)慎操作,以確保設(shè)備不受損壞并保持測(cè)量精度。以下是拆裝真空計(jì)的一般步驟和注意事項(xiàng)。拆卸步驟斷電與泄壓:關(guān)閉電源,確保系統(tǒng)斷電。緩慢泄壓,確保系統(tǒng)內(nèi)無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標(biāo)記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計(jì)與系統(tǒng)的連接。拆卸...
真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控:電容規(guī)測(cè)腔體壓力(1~10?2 Pa),電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)(10?2~10?? Pa)。ALD設(shè)備要求真空計(jì)耐腐蝕(如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī))。數(shù)據(jù)采樣率需>10 Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14. 真空...
選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測(cè)量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測(cè)量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測(cè)量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測(cè)量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選...
皮拉尼真空計(jì)是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測(cè)量?jī)x器,用于低真空到中真空范圍的測(cè)量。其工作原理是通過測(cè)量氣體分子對(duì)熱絲的熱傳導(dǎo)變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計(jì)的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子...
真空計(jì)用于測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的真空計(jì)類型,常見的有:熱偶真空計(jì):適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計(jì):適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計(jì):適用于中真空...
金屬薄膜真空計(jì)性能特點(diǎn)高靈敏度:金屬薄膜真空計(jì)通常具有較高的靈敏度,能夠準(zhǔn)確測(cè)量微小的壓力變化。寬測(cè)量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質(zhì)和厚度,但金屬薄膜真空計(jì)通常具有較寬的測(cè)量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環(huán)境。穩(wěn)定性好:在適當(dāng)?shù)木S護(hù)下,金屬薄膜真空...
概述陶瓷薄膜真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜,通過測(cè)量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號(hào)轉(zhuǎn)換:形變通過壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。信...
真空計(jì)的基本分類真空計(jì)按測(cè)量原理分為***真空計(jì)(直接測(cè)量壓力)和相對(duì)真空計(jì)(需校準(zhǔn))。主要類型包括機(jī)械式(如波登管)、熱傳導(dǎo)式(皮拉尼計(jì))、電離式(熱陰極/冷陰極)、電容式(MEMS)等。選擇時(shí)需考慮量程(如皮拉尼計(jì)適用于1Pa~10??Pa)、精度(±...
由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來表示,根據(jù)真空度的不同,又...
2. 熱傳導(dǎo)真空計(jì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)通過氣體熱傳導(dǎo)的變化來測(cè)量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計(jì)原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點(diǎn):響應(yīng)快、成本低。缺點(diǎn):受氣體種類影響較大。...
辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金...
8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測(cè)量技術(shù),適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):測(cè)量范圍廣,適用性強(qiáng)。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)(1)...
3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過電離氣體分子來測(cè)量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。(1)熱陰極電離真空計(jì)原理:利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,通過離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、測(cè)量范圍廣。缺點(diǎn):熱陰極易...
7. 真空隔熱原理杜瓦瓶(如保溫杯)利用真空層阻斷熱傳導(dǎo)和對(duì)流,*剩輻射傳熱。多層鋁箔反射屏可降低輻射熱導(dǎo),使LNG儲(chǔ)罐日蒸發(fā)率<0.1%。國(guó)際空間站真空隔熱材料耐受-150~120℃溫差,真空度維持10?3 Pa以上。 8. 陰極射線管與真空CRT...
在實(shí)際應(yīng)用中,不同類型的真空計(jì)通常結(jié)合使用,以覆蓋不同的壓力范圍。同時(shí),為了確保真空計(jì)的精度和可靠性,需要定期對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。此外,在選擇真空計(jì)時(shí),還需要考慮其測(cè)量范圍、精度、響應(yīng)時(shí)間等性能指標(biāo),以及工作環(huán)境中的氣體種類、溫度等因素對(duì)真空計(jì)性能的影響。綜上...
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測(cè)力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通...
真空計(jì)用于測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的真空計(jì)類型,常見的有:熱偶真空計(jì):適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計(jì):適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計(jì):適用于中真空...