安裝步驟準備工作：確保安裝區域清潔，準備好所需工具和材料。安裝真空計：將真空計對準安裝位置，確保密封面平整。按說明書安裝固定螺栓或夾具，均勻緊固。連接管路與電氣：連接真空管路，確保密封良好。按標記重新連接電氣線路。檢查與測試：檢查所有連接是否牢固，密封是否良好。進行初步測試，確保真空計正常工作。注意事項安全操作：確保系統斷電和泄壓后再操作。佩戴防護裝備，如手套和護目鏡。避免污染：保持工作區域清潔，避免灰塵和雜質進入系統。正確使用工具：使用合適工具，避免損壞真空計和連接部件。遵循說明書：嚴格按說明書操作，確保正確安裝和拆卸。定期維護：定期檢查和校準真空計，確保其長期穩定運行。總結真空計的拆...

陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。主要特點耐高溫：陶瓷材料能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環境。絕緣性能：良好的電絕緣性，適合高電壓環境。高精度：提供精確的真空度測量。陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導或壓力效應來確定真空度，常見類型包括：熱電偶真空計：利用氣體熱傳導變化測量壓力。皮拉尼真空計：基于氣體熱傳導與壓力的關系。電容式真空計：通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應用領域真空計原理及測量范圍是？無錫高純度真空計供應商金屬薄膜真空計性能特點高靈敏度...

熱傳導真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數，故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。不過，熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關，而且易受熱絲表面污染、環境溫度等因素影響，故準確度不高，只作粗略的真空指示用。粘滯真空計：利用在真空中轉動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發生運動衰減的現象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉子真空...

真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時，這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，例如：利用力學性能的真空計：如波爾登真空計和薄膜電容規，它們通過測量氣體對某種力學元件（如薄膜）的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規和熱電偶規，它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規和冷陰極電離規，它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計...

真空技術在生活中有著廣泛的應用，它極大地改善了我們的生活質量，提高了生產效率，隨著科技的進步和創新，真空技術的應用領域還將不斷拓展和深化，并在多個領域發揮著不可替代的作用。醫療器械與醫療環境真空包裝醫療器械：注射器、輸液袋等醫療器械需要在無菌條件下使用，通過真空包裝可以避免外界細菌的污染，確保使用時的安全性。醫用真空負壓機：在醫療環境中，醫用真空負壓機通過真空泵抽吸，使系統管路產生醫用負壓，用于傷口護理、手術室和隔離病房的潔凈維護、液體輸送以及實驗室應用等。電力與能源真空斷路器：電力系統中常見的一種開關裝置，用于在電流過大或故障發生時切斷電路。其基本原理是利用真空環境中的高絕緣性，避免電弧的形...

陶瓷薄膜真空計應用領域半導體制造：用于工藝過程中的真空度監控。真空鍍膜：確保鍍膜質量。科研實驗：用于高精度真空測量。醫療設備：如電子顯微鏡、質譜儀等。優缺點優點：高精度、耐腐蝕、穩定性好、量程寬。缺點：成本較高，對安裝和使用環境要求嚴格。維護與保養定期校準以確保精度。保持清潔，避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩定性，在多個領域得到廣泛應用，盡管成本較高，但其性能優勢明顯。直空計使用過程中需要注意的事項？廣東mems真空計供應商真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點：1.多種測量原理真空計有多種測量原理，如電容式...

8. 復合真空計復合真空計結合多種測量技術，適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理：通常結合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍：10?1? Torr 到 1000 Torr。優點：測量范圍廣，適用性強。缺點：成本較高。應用：多功能真空系統。9. 其他真空計（1）放射性電離真空計原理：利用放射性物質電離氣體分子測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優點：無需電源，穩定性好。缺點：放射性物質存在安全隱患。應用：特殊環境真空測量。（2）聲波真空計原理：通過聲波傳播速度變化測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優點：非接觸式測量。缺點：精度較低。應用：...

真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點：1.多種測量原理真空計有多種測量原理，如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍，用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如，有些真空計的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時能夠方便地更換新的傳感器，從而延長真空計的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發展，真空計正朝著小型化和集成化的方向發展。小型化的真空計更加便于攜帶和安裝，而集成化的真空計則能夠與其他設備或系統進行集成，實現更加智能化的監測和控制。然而，真空計也存在一些局限...

真空計是用于測量真空系統中壓力的儀器，具有多種特點，使其在不同應用中表現出色。以下是真空計的主要特點：1. 寬量程適用：真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍（如10^-1 Pa到10^-10 Pa）。多類型選擇：不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精度精確測量：現代真空計具有高精度，能提供準確的真空度測量。高分辨率：能夠檢測到微小的壓力變化。3. 快速響應實時監測：真空計對壓力變化反應迅速，適合需要實時監測的應用。動態測量：在快速變化的環境中，真空計能提供穩定的測量結果。4. 環境適應性耐高溫：部分真空計能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環境，選擇耐腐蝕材料制成的真空計...

皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼，內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路，并負責信號放大和信號數字化的工作。根據測量方式的不同，皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種：定電流式：在這種方式中，通過加熱燈絲的電流保持恒定。當真空壓力改變時，燈絲的溫度會發生變化，從而導致燈絲的電阻值發生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量，并轉換為真空壓力值。定電壓式：在這種方式中，加熱燈絲上的電壓保持恒定。當真空壓力變化時，燈絲的溫度和電阻值也會相應變化。通過測量通過燈絲的電流變化，可以間接測量真空壓力。真空計的讀數通常是不變的，這是因...

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。南京mems真空計原廠家渦...

2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力，適用于低真空和中真空范圍。（1）皮拉尼真空計原理：利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：響應快、成本低。缺點：受氣體種類影響較大。應用：普通真空系統監測。（2）熱電偶真空計原理：通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：結構簡單、穩定性好。缺點：精度較低。應用：低真空和中真空測量。電容真空計在哪些領域有應用？廣東電容薄膜真空計皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在...

皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補償原理，通過測量一個發熱體與一個接收發熱體之間的熱傳導程度來判斷氣體的壓力。具體來說，當加熱燈絲（一般為鉑絲）被恒定電流加熱時，其溫度會升高。對于給定大小的電流，加熱絲的溫度取決于通過傳導和對流向周圍介質（即氣體）散熱的速率。在真空或低壓環境中，加熱絲的熱導率（即將熱量散發給周圍介質的能力）會降低，導致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會引起導線電阻的變化，這種變化可以通過惠斯通電橋來測量。當氣體分子密度發生變化時，熱量從金屬絲傳遞到氣體會受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力，使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應變化。因此，可以通過測量這種能量變化來間接測量真空...

（1）利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態或動力學效應來推算真空度，典型**有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規。a）皮拉尼電阻規利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發生變化時，熱絲的熱傳導性能會受到影響，進而導致電阻發生變化。通過測量電阻的變化，可以推算出真空度的數值。皮拉尼電阻規具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b）熱電偶規利用熱電效應進行真空度測量的儀器，其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化，熱電偶的溫差電勢也會相應改變，從而提供關于真空度的信息。熱電偶規具有結構簡單、操作便捷等特點。真空計如何選型與使用？廣東高質量真...

選擇真空計應該注意什么6.安裝與接口安裝方式：根據系統設計選擇合適的安裝方式，如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性：確保真空計的接口與系統兼容。7.電源與信號輸出電源需求：選擇符合系統電源要求的真空計。信號輸出：根據需求選擇模擬信號（如4-20mA、0-10V）或數字信號（如RS485、Modbus）輸出的真空計。8.維護與校準維護需求：選擇易于維護和清潔的真空計。校準周期：了解校準周期和校準方法，選擇易于校準的真空計。9.成本與性價比預算：在預算范圍內選擇性價比高的真空計。長期成本：考慮長期使用成本，包括維護、校準和更換部件費用。10.品牌與售后服務品牌信譽。售后服務：選擇提供良好售后服務的供...

陶瓷薄膜真空計應用領域半導體制造：用于工藝過程中的真空度監控。真空鍍膜：確保鍍膜質量。科研實驗：用于高精度真空測量。醫療設備：如電子顯微鏡、質譜儀等。優缺點優點：高精度、耐腐蝕、穩定性好、量程寬。缺點：成本較高，對安裝和使用環境要求嚴格。維護與保養定期校準以確保精度。保持清潔，避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩定性，在多個領域得到廣泛應用，盡管成本較高，但其性能優勢明顯。電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。天津陶瓷真空計生產廠家利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有...

利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規和冷陰極電離規。a)熱陰極電離規通過加熱陰極使其發射電子，進而與氣體分子發生碰撞并電離。電離產生的離子流隨壓力變化，通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度，進而得到壓力大小。熱陰極電離規能夠提供高精度的真空度測量，常用于科研和高精度工業領域。b)冷陰極電離規同熱陰極一樣，也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理，不同的是，冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產生離子。在測量過程中無需加熱陰極，因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時間連續工作的場合...

1.多種測量原理真空計有多種測量原理，如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍，用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如，有些真空計的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時能夠方便地更換新的傳感器，從而延長真空計的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發展，真空計正朝著小型化和集成化的方向發展。小型化的真空計更加便于攜帶和安裝，而集成化的真空計則能夠與其他設備或系統進行集成，實現更加智能化的監測和控制。然而，真空計也存在一些局限性，如某些類型的真空計易被污染、測量范圍相對較窄等。因此，在選擇和使用真空計時，需要綜...

真空計的現代發展技術進步：隨著半導體和微機電系統（MEMS）技術的不斷進步，真空計的精度和穩定性得到了提升，推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化：現代真空計越來越多地集成了智能化功能，能夠實時監測、分析和反饋數據，提高了用戶的操作便利性和系統的整體效率。隨著半導體和微機電系統（MEMS）技術的不斷進步，真空計的精度和穩定性得到了提升，推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化：現代真空計越來越多地集成了智能化功能，能夠實時監測、分析和反饋數據，提高了用戶的操作便利性和系統的整體效率。電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。mems電容真空計生產廠家4. 電容式真空計電容式真空...

在實際應用中，不同類型的真空計通常結合使用，以覆蓋不同的壓力范圍。同時，為了確保真空計的精度和可靠性，需要定期對其進行校準和維護。此外，在選擇真空計時，還需要考慮其測量范圍、精度、響應時間等性能指標，以及工作環境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上所述，真空計在科研、工業生產、醫療、航空航天等多個領域都發揮著重要作用。隨著科技的不斷發展，真空計的性能將不斷提升，應用范圍也將進一步擴大。如何維護和保養電容真空計？江蘇mems電容真空計設備供應商辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰...

陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。主要特點耐高溫：陶瓷材料能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環境。絕緣性能：良好的電絕緣性，適合高電壓環境。高精度：提供精確的真空度測量。陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導或壓力效應來確定真空度，常見類型包括：熱電偶真空計：利用氣體熱傳導變化測量壓力。皮拉尼真空計：基于氣體熱傳導與壓力的關系。電容式真空計：通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應用領域如何校準電容真空計？陜西mems真空計生產企業（1）利用氣體熱學特征類真空計...

真空計的安裝步驟可能因型號和規格的不同而有所差異，但通常包括以下幾個基本步驟：檢查設備：在安裝前，需要檢查真空計及其相關配件是否完整、無損壞，并確保其符合使用要求。選擇安裝位置：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，因此應適當選擇真空計的安裝位置，以確保測量結果的準確性。同時，應確保安裝位置便于操作和觀察。連接電纜：將真空計的電源線電纜和規管電纜分別插入后面板的相應插座上，并確保連接牢固可靠。對于裸規安裝，還需將紅線（紅夾子）接在電子加速極上，其他兩根線（黑夾子）接在燈絲上，屏蔽線接在離子收集極上。接地處理：為確保安全，應將真空計的外殼進行接地處理。這通常是通過將導線連接在機箱的接地端子上來實現的。...

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。皮拉尼真空計在哪些領域有應用？杭州金屬真空計原廠家皮拉尼真空計是一種基于熱...

（1）真空計直接讀取氣體壓力，其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關，屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。（2）相對真空計一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算，必須進行校準才能。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管(或規頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。皮拉尼真空計如何校準？溫州高純度真空計設備供應商6. 麥克勞真空計麥克勞真空計，通過壓縮氣體測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高...

皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器，用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲（通常是鎢或鉑），其工作原理如下：加熱與熱傳導：金屬絲通電加熱，熱量通過氣體分子傳導。壓力變化：氣體壓力越高，分子越多，熱傳導越強，金屬絲溫度下降。電阻變化：金屬絲溫度變化導致電阻變化，通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程：適用于低真空到中真空范圍（通常為10^-1 Pa到10^5 Pa）。快速響應：對壓力變化反應迅速。結構簡單：易于制造和維護。成本較低：相比其他真空計，價格較為經濟。真空計的讀數可能會受到外...

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。哪些品牌的真空計質量更好？杭州金屬真空計生產廠家真空計的拆裝需要謹慎操作，...

真空測量是指用特定的儀器和裝置，對某一特定空間內真空高低的測定，這種儀器或裝置稱為真空計（儀器、規管）。真空計的種類很多，通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類：***真空計：通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等，這類真空計所測量的物理參數與氣體成分無關，測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下，直接進行測量是極其困難的。相對真空計：通過測量與壓強有關的物理量，并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等，它的特點是測量的準確度略差，而且和氣體的種類有關。在實際生產中，除真空校準外，大都使用相對真空計。皮拉尼...

陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。主要特點耐高溫：陶瓷材料能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環境。絕緣性能：良好的電絕緣性，適合高電壓環境。高精度：提供精確的真空度測量。陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導或壓力效應來確定真空度，常見類型包括：熱電偶真空計：利用氣體熱傳導變化測量壓力。皮拉尼真空計：基于氣體熱傳導與壓力的關系。電容式真空計：通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應用領域什么是真空測量？真空如何測量？河北金屬電容薄膜真空計多少錢其他角度對真空計進...

安裝步驟準備工作：確保安裝區域清潔，準備好所需工具和材料。安裝真空計：將真空計對準安裝位置，確保密封面平整。按說明書安裝固定螺栓或夾具，均勻緊固。連接管路與電氣：連接真空管路，確保密封良好。按標記重新連接電氣線路。檢查與測試：檢查所有連接是否牢固，密封是否良好。進行初步測試，確保真空計正常工作。注意事項安全操作：確保系統斷電和泄壓后再操作。佩戴防護裝備，如手套和護目鏡。避免污染：保持工作區域清潔，避免灰塵和雜質進入系統。正確使用工具：使用合適工具，避免損壞真空計和連接部件。遵循說明書：嚴格按說明書操作，確保正確安裝和拆卸。定期維護：定期檢查和校準真空計，確保其長期穩定運行。總結真空計的拆...

常見的真空計類型包括：直接讀取式真空計：如U型管壓力計、壓縮式真空計等，它們直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的，且與氣體種類無關。相對真空計：如熱傳導真空計、電離真空計等，它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進行刻度，必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計：利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成，是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關。電容真空計的校準通常需要使用已知真空度的標準真空源或真空...