PECVD 制備氫化非晶硅薄膜 本實驗采用單晶硅片為襯底,按石英玻璃基片的清洗步驟清洗后烘干,然后置于PECVD系統中。樣品制備條件為襯底溫度250℃,工作氣壓120 Pa, 射頻功率100 W, 氣體流量SiH4/H2=15/5 sccm, 沉積時間30min, 制備得到a- Si:H 薄膜樣品。 (1) 非晶硅薄膜的表面粗糙度會隨著濺射功率的增大而增大,膜的均勻性將會變差; (2) 非晶硅薄膜的表面粗糙度隨著襯底加熱溫度的增大而減小,非晶硅薄膜均勻性變好; (3) 在0.5 Pa 至2.0 Pa范圍內,隨著氬氣氣壓的增加非晶硅薄膜的表面粗糙度稍微變大; (4) 隨著濺射時間的增加, 膜的厚度成非線性增加,沉積速率開始較快,之后逐漸減慢,膜的表面粗糙度逐漸變大; (5)隨著濺射氣壓的增大,沉積速率有所降低。由金屬靶面通過反應濺射工藝形成化合物的過程中,化合物是在哪里形成的呢?揚州InSn靶材
常見的PVD裝飾膜主要有幾大色系: 1.IP玫瑰金(rose gold)是一種黃金和銅的合金,由于其具有非常時尚、靚麗的玫瑰紅色彩,因而普遍用于首飾設計和加工。又稱粉色金(pink gold)、紅色金(red gold)。 2. IP金,用離子鍍膜的方式,讓靶材上的黃金沉積到要鍍的工件之上,一般由仿金層和表面金層兩層,表面金層的顏色與24K黃金一樣,厚度可以根據客戶的要求鍍不同的厚度。 3. 仿金系列(包括仿金色和仿玫瑰金),不含黃金,一般成份是由TiN TiCN ZrN ZrCN等陶瓷化合物組成,但很難達到真金的亮度。 4. 銀色系列,一般是鉻的化合物,顏色深淺可調整,可分冷色系列和暖色系列,冷色系列帶藍調,金屬光感好,暖色系列帶黃調,接近不銹鋼本色。 5. 黑色系列,一般是成份是金屬的碳化物,顏色深淺可以調整,色調根據客戶的要求也可以調整,不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調,可以根據客戶的需要選擇不同的膜系。 6. 藍色系列,有天空藍,冰藍色,海洋藍,深藍等等,不同色系成份也有所不一樣。成都氧化鋯靶材作用壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當的距離,調整距離即可。
鋅錫合金,鋅鋁合金,錫鎘合金,銅銦合金,銅銦鎵合金,銅鎵合金,以及錫,鉬,鈦等旋轉靶材高純鋁靶材Al高純銅靶材Cu高純鐵靶材Fe高純鈦靶材Ti高純鎳靶材Ni高純鎂靶材Mg高純鉻靶材Cr高純鋅靶材Zn高純銀靶材Ag高純鈷靶材Co高純鈮靶材Nb高純錫靶材Sn高純銦靶材In高純鋯靶材Zr高純鉭靶材Ta高純鍺靶材Ge高純硅靶材Si高純鎢靶材W高純鉿靶材Hf高純釔靶材Y高純釓靶材Gd高純釤靶材Sm高純鏑靶材Dy高純鈰靶材Ce高純鑭靶材La高純金靶材Au高純不銹鋼靶材高純石墨靶材C高純硒靶材Se高純鉬靶材Mo高純合金濺射靶材二元合金靶鎳鉻靶Ni-Cr鎳鐵靶Ni-Fe鎳鈷靶Ni-Co鎳鋯靶Ni-Zr鎳鋁靶Ni-Al鎳銅靶Ni-Cu鎳釩靶Ni-V銅銦靶Cu-In銅鎵靶Cu-Ga銅硒靶Cu-Se鈦鋁靶Ti-Al鋁硅靶Al-Si鋁銅靶Al-Cu鋁鈦靶Al-Ti鋁鎂靶Al-Mg銀銅靶Ag-Cu鐵錳靶Fe-Mn銦錫靶In-Sn鈷鐵靶Co-Fe鎢鈦靶W-Ti鋅鋁靶Zn-Al鋁鈧靶Al-Sc銅錫靶Cu-Sn鋯鋁靶Zr-Al鋯鐵靶Zr-Fe鋯硅靶Zr-Si釩鋁靶V-Al硼鐵靶B-Fe鋁硅靶Al-Si硼鐵靶B-Fe多元合金靶鈷鐵硼靶Co-Fe-B銅銦鎵靶Cu-In-Ga銅銦鎵硒靶Cu-In-Ga-Se等。旋轉靶材用途編輯太陽能電池,建筑玻璃,汽車玻璃,半導體,平板電視等。
作為本發明 的技術方案,所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板。作為本發明 的技術方案,所述靶材呈凹形結構。作為本發明 的技術方案,所述靶材包括用于濺射的濺射面。 地,所述濺射面包括***平、第二平面和斜面。作為本發明 的技術方案,所述斜面與水平面的夾角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列舉的數值,該范圍內其他未列舉的數值同樣適用。作為本發明 的技術方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之間。 地,所述***平面為圓形。 地,所述第二平面為環形。作為本發明 的技術方案,所述靶材的材質包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種。作為本發明 的技術方案,所述背板的材質包括銅和/或鋁。作為本發明 的技術方案,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為;所述靶材表面的硬度為20-30hv。金屬化合物的二次電子發射系數比金屬的高,靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物。
其他服務:打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工服務。回收流程如下:稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品江陰典譽新材料科技有限公司,是專業從事鍍膜材料、合金制備等相關材料研發、銷售、服務為一體的全球化高科技綜合性公司。以業內 企業為支撐,整合技術資源,擁有自主進出口經營權和成熟的運營管理團隊,科學化管理運營,為公司向化、高新化發展奠定了基礎。典譽新材料在光電器件、芯片半導體、太陽能電池、光學鍍膜、航空航天、 、冶金、功能材料、新能源等行業產品開發、創新方面,有著得天獨厚的優勢。以客戶需求為導向,以前沿技術為基礎,開發了多個產品系列,涵蓋濺射靶材、蒸鍍膜料、高純合金、金屬粉末、耗材配件等千余種產品,質量穩定、工藝完善,得到廣大客戶好評。典譽新材料堅持“誠信為本、高質的經營理念,關注客戶需求,追求客戶滿意,以服務求生存,以質量求發展,不斷優化產品線,為廣大用戶提供一站式服務,力爭做全球 的金屬材料供應商。磁控濺射一定要求靶材表面要拋光嗎?無錫AlTiSi靶材作用
厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。揚州InSn靶材
儀器儀表行業飛速發展一是因為我國的經濟高速穩定發展的運行;按照過去的經驗,如果GDP的增長在10%以上時,儀表行業的增長率則在26%~30%之間。二是因為我國宏觀調控對儀表行業的影響有一個滯后期,儀表往往在工程的后期才交付使用,因此,因宏觀調控政策而減少的收入對儀表行業的影響不會太大。進一步提升我國儀器儀表技術和水平,有限責任公司企業要順應產業發展潮流,在穩固常規品種的同時,進一步發展智能儀器儀表,提升產業數字化、智能化、集成化水平。伴隨移動互聯網的爆發式增長,如今,它已經漸漸取代電子商務成為了整個互聯網產業增速最快的領域,而移動終端的入口也隨即成為了傳統行業的必爭之地。磁控濺射靶材,蒸發材料,背板,靶材綁定行業進軍移動互聯網實現線上發展勢在必行。中國生產型正面臨百年未有之大變局,行業行家認為,中美貿易戰不會有終點,中美關系時好時壞將成為常態,儀器儀表行業無法排除大局勢的影響,且不要把問題聚焦在關稅上。中國經濟的高速發展得益于WTO框架下的全球化分工;現在中國制造的競爭力在于工業門類齊全、供應鏈完整、供應鏈的高度專業和細分。揚州InSn靶材
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外知名研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列高品質濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供高品質的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。