本實用新型涉及半導體加工制造領域,尤其涉及晶圓減薄機吸附裝置,具體為一種用于減薄機的真空吸盤。背景技術:晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產品。在硅晶圓正面制作完集成電路后,為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝,需要采用減薄機對晶圓進行背面減薄。一方面,晶圓減薄機在磨削過程中,需要將所磨削晶圓置于真空吸盤之上吸附進行磨削過程,對于所涉及的真空吸盤要求能夠有效的吸附晶圓,并且能夠保證吸盤主體的平整度,以及真空的均勻度,使得減薄機砂輪在磨削時吸附晶圓不發生位移,且吸盤在真空形成的負壓之下要能防止產生過大的形變;另一方面,由于加工制造成本相對較高,所以又要保證減薄機所用真空吸盤能夠利于更換多次磨削修整后的多孔陶瓷板,且所用底座能夠配合多個尺寸類型的真空吸盤。技術實現要素:有鑒于此,本申請提供一種安裝方便,能夠保證減薄過程中吸盤主體的平整度和真空的均勻度,還能更換多孔陶瓷適于不同尺寸的吸盤配合于同一底座的用于減薄機的真空吸盤。為達到上述目的。溧水區多功能真空吸盤推薦廠家!賈汪區常見真空吸盤哪家便宜
本實用新型涉及真空吸盤技術領域,具體為一種曝光機真空吸盤。背景技術:在印刷電路板的制造工藝中,較關鍵的工序之一就是將底片圖像轉移到敷設了銅箔的基板上,也即曝光工藝,其基本過程是先在印刷電路板上涂覆一層感光材料,然后將印刷電路板放置在曝光機臺面上,曝光機是指通過開啟燈光發出uva波長的紫外線,將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的機器設備。曝光機在進行工作時通常需要進行自動上料工作,一般是通過真空吸盤將材料吸附后提起放置到正確的位置,但是現有的真空吸盤在長時間使用后容易變形,導致吸盤容易破裂,造成吸盤使用壽命縮短,另外現有的真空吸盤在進行吸附時雜物容易進入到吸盤內腔造成真空吸盤的吸附能力減弱影響曝光機真空吸盤的正常傳送工作。技術實現要素:(一)解決的技術問題針對現有技術的不足,本實用新型提供了一種曝光機真空吸盤,解決了現有的曝光機真空吸盤長時間工作時容易變形和雜物容易進入到吸盤內腔造成吸附能力減弱的問題。(二)技術方案為實現以上目的,本實用新型通過以下技術方案予以實現:一種曝光機真空吸盤,包括外殼和吸盤腔,所述吸盤腔位于外殼內腔,所述外殼內部兩側固定連接有支撐柱。銅山區常見真空吸盤有幾種雨花臺區多功能真空吸盤推薦廠家!
所述真空閥芯上半部圓錐形的頂角設有頂針,頂針位于面板通孔的中心位置。所述頂針為具有15°圓錐角的圓錐面。所述真空閥芯與面板之間設有閥芯密封。所述真空閥芯上設有與閥芯密封相配合的環形凹槽一。所述面板上的通孔和底板上的通孔的中心線重合。所述面板上通孔的直徑小于底板上通孔的直徑。所述真空閥芯的下半部設有與彈簧相配合的盲孔。所述吸盤主體上多個貫通于面板和底板的通孔排列成矩形。本實用新型的有益效果是:本實用新型采用真空結構,利用大氣壓使非磁性材料牢牢的貼合在吸盤表面,采用o型密封,不但具有較強的吸力,而且成本較低,結構簡單,尤其適用于一些無磁性的材料,如鎳基合金、不銹鋼材料等。附圖說明圖1為本實用新型的剖視圖;圖2為本實用新型試樣安裝狀態示意圖;圖3為本實用新型的俯視圖;圖4為本實用新型真空閥芯主視圖;圖5為本實用新型真空閥芯俯視圖;圖6為本實用新型吸盤主體結構示意圖;圖中:1、真空閥芯;2、試樣密封;3、閥芯密封;4、真空室;5、吸盤主體;6、調整頂絲;7、彈簧;8、試樣;9、真空接頭;10、頂針;11、環形凹槽一;12、盲孔;13、面板;14、通孔;15、環形凹槽二;16、底板;17、螺紋孔;18、側板。
并且繼電器4連接真空泵5和電動破空閥3的電源電路,通過外部控制信號的通斷來控制真空泵5和電動破空閥3之間實現互相切換開閉。在本實施例中,外部控制信號由控制機構發出,控制機構可以是集中式或分布式的控制器,比如,控制器可以是一個單獨的單片機,也可以是分布的多塊單片機構成,單片機中可以運行控制程序,進而控制真空泵5、電動破空閥3實現其功能。繼電器4和真空泵5的具體結構為現有技術,在此不做贅述。電動破空閥3主要用于實現真空吸盤9與外界大氣的連通,以實現在待吸附件達到目標位置后,釋放真空吸盤9對待吸附件的吸附力。電動破空閥3和真空泵5兩者之間的通斷狀態相反,當電動破空閥3被配置為開啟時,真空泵5關閉,真空吸盤9與外界大氣連通,真空吸盤9無法形成真空環境,無法吸附待吸附件。當電動破空閥3被配置為關閉時,真空泵5開啟,真空吸盤9在真空泵5的作用下能夠形成真空環境,可以實現對待吸附件的吸附。具體地,電動破空閥3包括第1通氣口和第二通氣口,第1通氣口與真空吸盤9連通,第二通氣口與外界大氣連通,第二通氣口被配置為能夠開啟或者閉合。電動破空閥3的具體結構以及如何實現狀態的切換均為現有技術,在此不做贅述。可選地。溧水區室內深加工真空吸盤推薦廠家!
電磁吸盤就不行,它只能用在鋼材上,其他材料的板材或者物體是不能吸的。三、無污染。真空吸盤特別環保,不會污染環境,沒有光、熱,電磁等產生。四、不傷工件。真空吸盤由于是橡膠材料所造,吸取或者放下工件不會對工件造成任何損傷。而掛鉤式吊具和鋼纜式吊具就不行。在一些行業,對工件表面的要求特別嚴格,他們只能用真空吸盤。真空吸盤應用簡介編輯真空吸盤用途用于模內貼標的末端工具可以完成三個動作:在有限的空間里,EOAT先拾取并插入商標,然后將商標固定在模具中。與靜態貼標裝置相比,這個操作可以減少該裝置的尺寸。EOAT的后一個動作是將貼有商標的塑料瓶從模具中取出。通常,在注塑汽車制件時,對于具有A級表面制品的操作要格外小心。為了避免在其表面產生劃痕,必須禁止使用真空吸盤。此時,可以考慮在EOAT上安裝一個由縮醛制成的夾鉗,就可有效地避免劃傷制品的表面。那么,如何將EOAT用于復雜的加工成型過程呢?為了說明這個問題,我們例舉一個用尼龍和橡膠進行重疊注塑成型的例子。在這個例子中,利用一個多功能的機械手臂末端工具(EOAT)把操作工人手邊。江寧區多功能真空吸盤推薦廠家!賈汪區常見真空吸盤哪家便宜
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蓄能器設置在支撐臂的上方,蓄能器背離車架的方向設置吸盤拉鉤,吸盤拉鉤的伸出端鉸接在真空吸盤上,真空吸盤推桿設置在支撐架的中部,真空吸盤推桿的推桿端連接在真空吸盤,水平移動推桿設置在支撐架的上方,活塞桿端固定在支撐架上的安裝架上,前后移動推桿推桿端連接在支撐架上。作為上述技術方案的進一步描述:所述支撐架朝向真空吸盤的面上設有攝像頭,車架后側設有顯示器,攝像頭與顯示器信號相接。作為上述技術方案的進一步描述:所述真空吸盤上設有手動球閥。作為上述技術方案的進一步描述:所述真空吸盤上設有真空壓力表。作為上述技術方案的進一步描述:所述蓄能器上設有真空過濾器。作為上述技術方案的進一步描述:所述蓄能器上設有電磁閥。作為上述技術方案的進一步描述:所述控制箱中設有真空單向閥。作為上述技術方案的進一步描述:所述真空動力控制系統與報警系統信號相接,報警系統包括膜片式真空壓力開關以及報警指示燈。本實用新型的有益效果體現在:1.采用電動堆高車與真空吸盤的結合結構,具有操作簡單、靈活,可多工位使用的優勢;2.真空的動力來源集成到搬運車的蓄能器上,斷電時仍可使用;3.可實現鋁卷前后90度翻轉。賈汪區常見真空吸盤哪家便宜
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