供電部70具有供電導軌75、和設置于供電導軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方，并沿著頂棚軌道10連續設置或者間斷設置。另外，在第1、第二起重機40a、40b的安裝部46和高架搬運車50的安裝部52a設置有電力接收部73。電力接收部73經由非接觸供電線76接收電力，并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示，控制裝置60統一控制搬運系統100?？刂蒲b置60通過無線或者有線的通信來控制第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的動作。此外，控制裝置60也可以分割為控制第1、第二起重機40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運車50的控制裝置。另外，也可以通過不同的控制裝置來控制第1起重機40a與第二起重機40b。在上述的搬運系統100中，第1起重機40a在第1保管區域sa1內搬運物品2。例如，第1起重機40a沿著第1區段內頂棚軌道11朝向一個方向，例如圖1中的逆時針的方向行駛，并在第1處理裝置tl1的裝載端口lp、第1保管部20a、以及第1交接端口30a之間搬運物品2。第二起重機40b在第二保管區域sa2內搬運物品2。例如，第二起重機40b沿著第二區段內頂棚軌道12朝向一個方向，例如圖1中的逆時針的方向行駛。棲霞區包裝袋真空搬運機推薦廠家！靜安區真空搬運機生產廠家
其具備沿著第二區段內頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構，上述行駛部沿著第1區段內頂棚軌道、第二區段內頂棚軌道、以及區段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據本發明所涉及的搬運系統以及搬運方法，通過第1、第二起重機進行區段內的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數量，通過高架搬運車進行區段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區段內頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區段內頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應地另外設置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設所需要的成本。另外。江陰米袋真空搬運機哪家的好棲霞區工業真空搬運機推薦廠家！
第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的行駛速度能夠任意地設定，也可以使其與第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的行駛速度相同。圖7～圖9是表示通過高架搬運車50搬運物品2時的移動路徑的一個例子的圖。在圖7～圖9中示出從第二保管區域sa2開始以第1保管區域sa1或者第1裝置區域ta1為下一個搬運目的地的物品2被第二起重機40b載置于第二交接端口30b的例子。例如，如圖7所示，在物品2被載置于在第二保管區域sa2的+y側端部和-x側配置的第二交接端口30b的情況下，控制裝置60(參照圖1)針對高架搬運車50進行指示以將第二保管區域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運至第1保管區域sa1的第1交接端口30a。高架搬運車50沿著第二區段內頂棚軌道12移動至第二交接端口30b，使橫向伸出機構55向+x方向突出，并驅動升降驅動部54使保持部53下降，由此通過保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外，高架搬運車50根據來自控制裝置60等的信息，獲取以下信息：接收到的物品2的搬運目的地是在第1保管區域sa1的+y側端部和+x側配置的第1交接端口30a。此外，第二起重機40b和高架搬運車50在第二區段內頂棚軌道12內，例如沿與順時針相同方向環繞行駛。其結果是。
圖7是表示通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是接著圖7，通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是接著圖8，通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實施方式以下，參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中，使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中，將鉛直方向設為z方向，將水平方向設為x方向、y方向。x方向是水平方向內的一個方向，是沿著后述的第1區段間頂棚軌道13和第二區段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著第1區段內頂棚軌道11的直線部11a、和第二區段內頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關于x、y、z方向的各方向，適當地將與箭頭相同一側稱為+側(例如，+x側)，將其相反側稱為-x側(例如，-x側)。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統100例如設置于半導體設備的制造工廠等，對收容有在半導體設備的制造中使用的半導體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中，使用物品2是foup的例子來進行說明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。江寧區象鼻子真空搬運機推薦廠家！
一種新型真空搬運機械手的制作方法技術領域：本實用新型涉及一種機械手，特別是一種新型真空搬運機械手，適用于玻璃、卷材、管材以及其它表面較平整、形狀較規則的各類物料的搬運。背景技術：開放以來，國民經濟快速增長，“科技創新、自主創新”已成為國內工業發展的主流，我國工業正逐步向集約型、節能減排、低碳的方向發展。由于機械手為物料上下線和生產物品組裝提供極理想的助力搬運和組裝工具，可完成重物抓取、搬運、翻轉、對接、微調角度等三維空間移載動作，因而用于工業生產中。機械手可部分替代人的繁重勞動以實現生產的機械化和自動化，在作業員的輕松操作下，可完成自動機器人的許多復雜工作，而生產及使用成本卻大為降低，同時使用范圍也，靈活性和機動性更大。真空搬運機械手適用于板材、玻璃、卷材、管材以及其它表面較平整、形狀較規則的各類物料搬運。普通的起吊設備在運行時，存在一定的沖擊力及反彈力，對工件損害較大，安全性能及定位精確度均達不到理想效果。科研單位與企業的技術人員在不斷地探索、研究，希望研制出一種操作方便、性能優越的機械手，雖然取得了一定的進展，但在實際運用中仍然存在著尚未克服的技術難題。溧水區多功能真空搬運機推薦廠家！靜安區真空搬運機生產廠家
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保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅動部54懸掛且以能夠擺動的狀態升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機40a、40b的保持部49是同一結構，也可以是不同結構。升降驅動部54例如是升降機，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規定的速度下降或者上升。另外，升降驅動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標高度。橫向伸出機構55例如具有在上下方向重疊配置的可動板。可動板能夠向行駛部51的行駛方向的側方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉動部和升降驅動部54。主體部52具有引導橫向伸出機構55的未圖示的引導件、和驅動橫向伸出機構55的未圖示的驅動部等。橫向伸出機構55通過來自電動馬達等驅動部的驅動力，使升降驅動部54和保持部53沿著引導件，在突出位置與收納位置之間移動。突出位置是從主體部52向側方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內的位置。轉動部具有未圖示的轉動部件和轉動驅動部。轉動部件被設置為能夠圍繞上下方向的軸進行轉動。轉動部件安裝于升降驅動部54或者保持部53。轉動驅動部使用電動馬達等。靜安區真空搬運機生產廠家
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