并且沿著裝載端口lp設置。第1區段內頂棚軌道11是以包圍第1保管區域sa1的方式配置為環狀的環繞軌道，第二區段內頂棚軌道12是以包圍第二保管區域sa2的方式配置為環狀的環繞軌道，但并不限定于該結構。第1區段內頂棚軌道11具有直線部11a和循環部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區域sa1與隔著第1保管區域sa1對置配置的多個裝載端口lp之間。循環部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個直線部11a彼此連接。第二區段內頂棚軌道12與第1區段內頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區域sa2與隔著第二保管區域sa2對置配置的多個裝載端口lp之間。循環部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個直線部12a彼此連接。此外，在本實施方式中，示出第1區段內頂棚軌道11與第二區段內頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1區段內頂棚軌道11與第二區段內頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區段間頂棚軌道13和第二區段間頂棚軌道14被設置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。浦口區牛皮袋真空搬運機推薦廠家！濱湖區包裝袋真空搬運機原理
第1區段間頂棚軌道13經由第1連接軌道15與第1區段內頂棚軌道11和第二區段內頂棚軌道12各自的一個端部(+y側的端部)連結。第二區段間頂棚軌道14經由第二連接軌道16與第1區段內頂棚軌道11和第二區段內頂棚軌道12各自的另一個端部(-y側的端部)連結。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個軌道。入口部15a形成供高架搬運車50從第1區段間頂棚軌道13向第1區段內頂棚軌道11或者第二區段內頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運車50從第1區段內頂棚軌道11或者第二區段內頂棚軌道12向第1區段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作為兩個軌道。入口部16a形成供高架搬運車50從第二區段間頂棚軌道14向第1區段內頂棚軌道11或者第二區段內頂棚軌道12行駛的路徑。出口部16b形成供高架搬運車50從第1區段內頂棚軌道11或者第二區段內頂棚軌道12向第二區段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外，在本實施方式中，示出第1連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示，第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管區域sa1。如圖1所示。連云港真空搬運機有幾種江寧區米袋真空搬運機推薦廠家！
本發明涉及搬運系統以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素：本發明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統以及搬運方法。本發明所涉及的搬運系統具備：第1區段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區段內頂棚軌道。
第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區段內頂棚軌道11的下方且側方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區段內頂棚軌道12的下方且側方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區段內頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機40a和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區段內頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設置進入在物品2的底面設置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部，由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。雨花臺區包裝袋真空搬運機推薦廠家！
由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個。第1、第二保管部20a、20b在各個第1、第二保管區域sa1、sa2配置兩列。第1、第二保管部20a、20b的各個列相對于裝載端口lp的列在x方向對置配置。第1保管部20a配置于相對于第1區段內頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯開的位置。第二保管部20b配置于相對于第二區段內頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯開的位置。在第1、第二保管區域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向設置兩層。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于兩層，可也以設置一層或者三層以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以設置于地板面上，來代替從頂棚懸掛。第1交接端口30a設置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b設置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有與第1、第二保管部20a、20b相同的結構，第1、第二保管部20a、20b中的一個或者多個作為第1、第二交接端口30a、30b使用。在本實施方式中。浦口區象鼻子真空搬運機推薦廠家！云龍區包裝袋真空搬運機生產廠家
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以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。圖I為本實用新型的結構示意圖；圖2為本實用新型中支柱的放大剖視結構示意圖；圖3為本實用新型中控制頭的結構示意圖。·具體實施方式如圖I、圖2、圖3所示，本實用新型輕型真空搬運機，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉桿4、真空泵13、連接管14、搬運管15、真空吸盤裝置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋轉軸套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接與旋轉軸套6的下端固定連接，另一端則通過斜拉桿4與旋轉軸套6的上端固定連接。連接管14一端與真空泵13連通，另一端與搬運管15連通，真空吸盤裝置安裝在搬運管15的底端，搬運管15滑動連接安裝在旋臂3上。其中，固定柱5通過上蓋7和下蓋8固定在立柱I上。固定柱5與旋轉軸套6之間且由上而下依次安裝有并帽9、墊圈10、上軸承11、下軸承12。旋臂3的下端面上開設有導軌17，搬運管15的頂端與導軌17滑動連接。導軌17上還滑動連接有數個掛鉤18，靠近搬運管15端的連接管14通過掛鉤18安裝在旋臂3上。真空泵13安裝在箱體16內，箱體16置于地面上；搬運管15為可伸縮式搬運管。真空吸盤裝置包括控制頭19、數個吸盤20、操作手柄21。濱湖區包裝袋真空搬運機原理