本發明能夠有效解決現有技術中機械手運行速度低，定位精度差的問題。本機械手包含3個軸，分別為升降軸、旋轉軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個關節，三個關節分別為一級關節、二級關節和三級關節，三個關節之間的傳動比為1:2:1，伸展電機通過諧波減速機驅動一級伸展臂轉動，通過一級關節、二級關節和三級關節之間設置有傳動結構，同時帶動二級伸展臂和手指固定座的移動，間接將第1級關節遠端的一級同步帶輪變為主動輪，通過這種結構，可以在一級伸展臂和二級伸展臂移動時，保持手指固定座的始終直線運動，既晶圓中心始終保持直線運動，晶圓的角度也保持不變。這種結構還提高了機械手整體強度，達到高速度運行和重復定位精度高的雙重目的。與現有技術相比，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。附圖說明圖1是本發明示意圖。圖2是本發明伸展軸示意圖。圖3是本發明伸展軸內部俯視示意圖。具體實施方式下面結合附圖與具體實施方式對本發明作進一步詳細描述。實施例1。六合區牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！沛縣粉塵氣動懸臂吊有幾種
使得助力裝置能夠適應航天員的各種維修姿勢的施力或助力。附圖說明為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖只只是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1是示意性表示根據本發明第1種實施方式的助力裝置的立體圖；圖2是示意性表示根據本發明第1種實施方式的固定夾持機構的立體圖；圖3、圖4和圖5分別是示意性表示根據本發明第1種實施方式的固定夾持機構完全打開狀態、未鎖定狀態和鎖定狀態的剖視圖；圖6是示意性表示根據本發明第1種實施方式的長度調整機構的立體圖；圖7和圖8分別是示意性表示根據本發明第1種實施方式的開關機構鎖定狀態和未鎖定狀態的剖視圖；圖9是示意性表示根據本發明第1種實施方式的末端助力機構的立體圖；圖10是示意性表示根據本發明第1種實施方式的具有鎖定功能的萬向球頭接頭結構的剖視圖。具體實施方式為了更清楚地說明本發明實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹。顯而易見地，下面描述中的附圖只只是本發明的一些實施方式。蘇州牛皮袋氣動懸臂吊生產廠家江寧區粉塵氣動懸臂吊推薦廠家！
自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離磁傳感器。隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時。
能夠抑制磁傳感器相對于磁體的振動。由此，能夠進一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測磁體的旋轉角度。作為理想的技術方案，所述彈性體具有環形狀，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述彈性體的環的內側。由此，當彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時，壁部的環被電路基板封堵。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面側進入壁部的環的內側。由于磁于壁部的環的內側，因此能夠抑制異物附著于磁體(發生污染)。作為理想的技術方案，所述壁部具有在與所述電路基板相對的面設置的槽部，所述彈性體能嵌入所述槽部。由此，易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對的面側。能夠防止彈性體相對于壁部錯位。作為理想的技術方案，所述彈性體為絕緣性。由此，彈性體能夠使電路基板與壁部之間絕緣。例如，即使在壁部由金屬制成的情況下，彈性體也能夠防止電流在壁部與電路基板之間流動。作為理想的技術方案，還具備將所述壁部的外周面和所述第1面連結起來的多個肋。由此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結強度。作為理想的技術方案，所述多個肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置能夠確保壁部與散熱器之間的連結強度不產生偏差。作為理想的技術方案。溧水區牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！
設置在所述弧形槽上用于鎖緊所述球頭和所述弧形槽的鎖緊件，以及設置在所述弧形槽內用于增大摩擦力以控制所述球頭在所述弧形槽內的位置的阻尼件。根據本發明的一個方面，所述鎖緊件包括與所述弧形槽上的開孔螺紋連接的鎖緊手柄，以及與所述鎖緊手柄固定連接并且位于所述弧形槽內與所述球頭的外表面形狀配合的弧形壓板。根據本發明的一個方面，所述固定夾持機構包括與所述弧形槽連接的防滑手柄，與所述防滑手柄的連接的支架，與所述支架連接的夾持件，以及與所述夾持件的端部連接用于鎖緊所述夾持件的鎖定板。根據本發明的一個方面，所述夾持件包括與所述支架固定連接的固定夾，位于所述固定夾的一側與所述支架轉動連接的轉動夾，以及設置所述轉動夾與所述支架之間用于轉動夾轉動后復位的壓簧；所述鎖定板與所述固定夾的端部轉動連接，通過轉動可將所述固定夾和所述轉動夾鎖緊在一起。根據本發明的一個方面，所述長度調整機構包括與所述球頭固定連接的內調節桿，套置在所述內調節桿外與所述內調節桿可以相對往復移動的外調節桿，設置在所述外調節桿上用于鎖定或者解鎖所述內調節桿和所述外調節桿之間的相對位置的開關結構。根據本發明的一個方面。浦口區粉塵氣動懸臂吊推薦廠家！普陀區多功能氣動懸臂吊供應
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可在其中自由轉動。由此，萬向球頭接頭結構4也形成一個類似關節的結構。圖10是示意性表示根據本發明第1種實施方式的具有鎖定功能的萬向球頭接頭結構的剖視圖。如圖10所示，鎖緊件403包括鎖緊手柄4031和弧形壓板4032。鎖緊手柄4031有兩個根桿組成，其中第1桿垂直連接在第二桿中部，使得鎖緊手柄4031形成“t”型結構。弧形板4032位于第1桿遠離第二桿的一端，其弧度適應于球頭401的表面。第1桿設有與弧形槽402上的螺紋孔配合的外螺紋。由此，通過轉動第二桿，可以使鎖緊件403向弧形槽402內部或外部移動。而弧形槽402的兩個螺紋孔中各設有一個鎖緊件403。弧形槽402內部靠近防滑手柄101與其的連接處的位置還設有向著防滑手柄101延伸的圓柱形槽。阻尼件404設置在其中，而阻尼件404的外部還套設有一個彈簧405。由此，在空間失重環境下，長度調整機構2轉動帶動球頭401轉動，到位后可依靠阻尼件404和球頭401之間的摩擦力立刻停止，在此過程中，彈簧405也起到壓緊球頭401的作用。在轉動到位后，航天員可轉動兩個鎖緊手柄4031使得兩個弧形板4032從球頭401相對的兩側壓緊球頭401，完成鎖緊，使球頭401不能再轉動。以上所述只為本發明的較佳實施例而已，并不用以限制本發明。沛縣粉塵氣動懸臂吊有幾種