立式爐支持哪些氣體工藝？氣體流量控制精度如何？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-29

支持氮?dú)?、氧氣、氬氣、氫氣等多種氣體的單一或混合通入，氣體流量控制精度達(dá) ±1% FS。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備配備質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體混配系統(tǒng)，可根據(jù)工藝需求實(shí)時(shí)調(diào)整氣體成分，滿足氧化、退火、擴(kuò)散等多種工藝場景。

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