浙江超硬鍍層電鍍設備

半導體掛鍍設備

1.基本原理與結構

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質，配備溫控、循環過濾系統，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機械臂自動上下料，減少人工污染風險

控制系統：PLC/計算機實時調控電流密度、電鍍時間、pH值等參數

2. 關鍵技術優勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術（如ECP），減少邊緣效應，實現亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監測，降低孔洞、結節等缺陷

高產能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導線，替代傳統鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導電通道，實現芯片堆疊

先進封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局

總結

半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關聯芯片的導電性、散熱及良率 鍍鎳設備配套活性炭吸附裝置，定期去除鍍液中有機雜質，防止細孔、麻點等鍍層缺陷。浙江超硬鍍層電鍍設備

全自動龍門式電鍍生產線

是一種高效、智能化的電鍍生產系統，通過龍門機械手實現工件的全流程自動化傳輸與精細加工，廣泛應用于金屬表面處理行業。

一、設備結構與組成龍門架與機械手龍門桁架：橫跨電鍍槽上方，搭載伺服驅動的機械臂，實現三維空間內的精確定位（重復精度±0.1mm）。夾具系統：根據工件形狀（如螺絲、連接器、汽車零件）定制夾具，確保抓取穩固。電鍍槽組包含 前處理槽（除油、酸洗）、電鍍槽（鍍鋅、鍍鎳等）、后處理槽（鈍化、烘干）等，槽位數量可按工藝擴展（如8~20槽）。槽內配備液位傳感器、溫控裝置及循環過濾系統，保障鍍液穩定性?？刂葡到yPLC+HMI：控制器預設工藝參數（電流、時間、溫度），觸摸屏實時監控運行狀態。智能調度算法：優化機械手路徑，減少空載時間，提升產能（如每小時處理500~2000件） 防爆型電鍍設備是什么電鍍槽體的防腐內襯采用聚四氟乙烯（PTFE），耐受強酸堿與高溫，延長設備使用壽命 30% 以上。

雙筒過濾機特點：一機具備多功能用途，可依據客戶使用條件，更換不同濾材。主濾筒采用耐腐蝕的PP/FRPP/PVDF一體注塑成型，耐酸堿腐蝕、防泄漏，且提供多種濾芯規格，可按精度需求選擇，滿足多元化應用。整機安裝與操作簡便，清洗便捷高效，占地面積小。支持根據客戶不同需求，選擇濾筒材質。適用領域，包括電鍍、氧化、表面處理等多種工藝環節。分享不同材質的濾芯在電鍍設備中的過濾效果有何差異？雙筒過濾機的價格區間是多少？濾芯式過濾機在電鍍行業中的市場占比是多少？

電泳生產線的主要組成部分:

1.前處理系統

對工件表面進行清洗、除油、除銹、磷化（或鈍化）等處理，確保表面潔凈并增強涂層附著力。

設備包括：預清洗槽、脫脂槽、酸洗槽、磷化槽、水洗槽、烘干爐等。

2.電泳槽系統

電泳主槽：容納電泳液，工件在此進行涂裝，槽體需恒溫控制（通常 20~30℃）。

循環過濾系統：保持電泳液均勻，過濾雜質，防止顆粒污染涂層。

電源系統：提供直流電源，控制電壓、電流參數，調節涂層厚度和質量。

超濾（UF）系統：分離電泳液中的水分和雜質，回收涂料并凈化廢水。

3.后處理系統

清洗工序：電泳后水洗（超濾水洗、純水洗）去除工件表面殘留的電泳液，避免雜質影響涂層質量。

烘干固化線：通過烘箱或隧道爐對濕膜進行高溫固化（通常 160~200℃），形成堅硬的漆膜。

4.自動化控制系統

集成 PLC 或工業計算機，控制各工序的時間、溫度、電壓、液位等參數，實現全流程自動化。

配備輸送系統（如懸掛鏈、滾床、機械手），實現工件的連續傳輸。 滾鍍機滾筒采用聚氯乙烯材質打孔設計，確保電解液流通，配合變頻電機調節轉速，保障小件鍍層均勻。

被動元器件在電鍍設備行業的發展趨勢

1.高精度與自動化：

引入AI視覺檢測，實時監控鍍層均勻性，自動調整工藝參數。

電鍍設備與前后道工序（如激光調阻、包封）集成，形成全自動產線。

2.綠色電鍍技術：

推廣無氰電鍍、低COD（化學需氧量）鍍液，減少廢水處理成本。

開發脈沖電鍍技術，降低金屬消耗量（節約30%以上）。

3.新型鍍層材料：

納米復合鍍層（如Ni-PTFE）提升耐磨性，適用于高頻電感。

低溫電鍍工藝適配柔性基板（如可穿戴設備用薄膜電容）。 電鍍廢水的重金屬回收設備采用離子交換樹脂，高效吸附鎳、銅離子，實現資源循環利用。定制化電鍍設備生產線

耐溫設備針對高溫電鍍工藝（如黑色氧化處理），槽體采用耐高溫 FRP 材質，耐受 100℃以上藥液長期侵蝕。浙江超硬鍍層電鍍設備

志成達設計研發的滾掛一體電鍍實驗設備鍍液的選擇：

1.鍍銅液方面

酸性鍍銅液導電性強、分散性佳，能快速鍍厚銅，常用于電子元件底層鍍銅；

堿性鍍銅液穩定性好，腐蝕性小，所得銅層結晶細、結合力強，適用于鋼鐵基體打底。

2.鍍鎳液

瓦特鎳鍍液成分簡單、易維護，鍍層光亮耐磨，在防護裝飾性電鍍中廣泛應用；

氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優，鍍層內應力低、延展性好，多用于對鍍層質量要求高的電子、航天領域。

3.鍍鋅液里

堿性鍍鋅液陰極極化作用強，鋅層耐腐蝕性好；

酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快，外觀光亮，不過腐蝕性強。

4.鍍金液

有物鍍金液，鍍層均勻光亮、硬度高；

無氰鍍金液則更環保。

5.鍍銀液

物鍍銀液電鍍性能好，鍍層導電導熱優；

硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環保。選擇鍍液要綜合零件材質、形狀、使用環境及實驗目的等，兼顧成本與環保。

總結：

在選擇鍍液時，需要根據待鍍零件的材質、形狀、尺寸、使用環境以及實驗目的等因素進行綜合考慮，同時還需考慮鍍液的成本、環保性和操作難度等因素。 浙江超硬鍍層電鍍設備