南通氧化釔鋯靶調試

來源: 發布時間:2021-10-13

常見的PVD裝飾膜主要有幾大色系:1.IP玫瑰金(rosegold)是一種黃金和銅的合金,由于其具有非常時尚、靚麗的玫瑰紅色彩,因而普遍用于首飾設計和加工。又稱粉色金(pinkgold)、紅色金(redgold)。2.IP金,用離子鍍膜的方式,讓靶材上的黃金沉積到要鍍的工件之上,一般由仿金層和表面金層兩層,表面金層的顏色與24K黃金一樣,厚度可以根據客戶的要求鍍不同的厚度。3.仿金系列(包括仿金色和仿玫瑰金),不含黃金,一般成份是由TiNTiCNZrNZrCN等陶瓷化合物組成,但很難達到真金的亮度。4.銀色系列,一般是鉻的化合物,顏色深淺可調整,可分冷色系列和暖色系列,冷色系列帶藍調,金屬光感好,暖色系列帶黃調,接近不銹鋼本色。5.黑色系列,一般是成份是金屬的碳化物,顏色深淺可以調整,色調根據客戶的要求也可以調整,不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調,可以根據客戶的需要選擇不同的膜系。6.藍色系列,有天空藍,冰藍色,海洋藍,深藍等等,不同色系成份也有所不一樣。所以在安裝靶材時需要確保陰極與陽極之間沒有接觸也不能存在導體,否則會產生短路。南通氧化釔鋯靶調試

濺射靶材的分類有哪些?

金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材 ,氮化物陶瓷濺射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物

陶瓷濺射靶材 ,硅化物陶瓷濺射靶材 ,硫化物陶瓷濺射靶材 ,碲化物陶瓷濺射靶材 ,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs),砷化銦靶材(InAs)。

1. 金屬靶材:

鎳靶、Ni、鈦靶、T濺射靶材i、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、濺射靶材不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。 武漢鎳釩靶作用為確保足夠的導熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。

真空技術中的清潔處理(一)概述真空技術清潔處理一般指的是真空裝置的結構材料、填裝材料和真空零(部)件的清潔處理。去除或減少污染物將有利于獲得良好真空,增加連接強度和氣密性,提高產品的壽命和可靠性。(二)污染物的幾種類型①油脂:加工、安裝和操作時沾染的潤滑劑、真空油脂等;②水滴:操作時的手汗,吹玻璃時的唾液等;③表面氧化物:易氧化材料長期基露或放置在潮濕大氣中所形成的表面氧化物;④酸、堿、鹽類物質:清洗后的殘余物質、手汗、自來水中的礦物質等;⑤空氣中的塵埃及其它有機物。(三)污染的形成及其影響真空裝置由許多不同的零件組成,它們都是經過各種機械加工完成的,如車、銑、刨、磨、銼、焊接等。這樣,零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發,影響真空設備的極限真空。此外,污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體,在真空環境中,這些氣體也要被釋放出來。構成了限制真空設備極限真空的因素。為此,零件組裝前必須掉污染物。

高純金屬的概念: 任何金屬都不能達到純。“高純”和“超純”具有相對的含義,是指技術上達到的標準。由于技術的發展,也常使“超純”的標準升級。例如過去高純金屬的雜質為 ppm級(即百萬分之幾),而超純半導體材料的雜質達ppb級(十億分之幾),并將逐步發展到以ppt級(一萬億分之幾)表示。實際上純度以幾個“9”(N)來表示(如雜質總含量為百萬分之一,即稱為6個“9”或6N),是不完整概念,如電子器件用的超純硅以金屬雜質計算,其純度相當于9 個“9”。 但如計入碳,則可能不到6個“9”。“超純”的相對名詞是指“雜質”,廣義的雜質是指化學雜質(元素)及“物理雜質”,后者是指位錯及空位等,而化學雜質是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。但只當金屬純度達到很高的標準時(如純度 9N 以上的金屬),物理雜質的概念才是有意義的, 因此目前工業生產的金屬仍是以化學雜質的含量作為標準,即以金屬中雜質總含量為百萬分之幾表示。通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。

真空離子鍍在航空航天方面的應用: 在現代飛機、航空發動機或航空儀表中,特別是在航宇器,如宇宙飛船、人造衛星中,有不少旋轉零件都要求有良好的潤滑,但往往由于封存過久、環境溫度過高或太空揮發等原因,普通油脂潤滑劑已不再適用,從而提出以固體潤滑劑代替。試驗表明,用離子鍍來制作固體潤滑膜,比現有其他方法為優。不但附著力強,鍍層又薄又勻,不影響零件的尺寸精度和公差配合。經濟性也好,少許潤滑材料即可鍍很大面積。潤滑膜的質量也較好,摩擦系數小,使用壽命也長。例如有一個人造衛星上的精密軸承,未鍍前工作壽命為幾分鐘,根本無法使用;但是經離子鍍固體潤滑膜后,則可在飛行中可靠地工作數千小時之久。離子鍍不能夠鍍許多種常溫固體潤滑材料,而且還能鍍復各種高溫固體潤滑材料,有的甚至可以在攝氏八百度以上的高溫下發揮良好的潤滑作用。可鍍的固體潤滑材料有銀、金、銅、鉛、鉛錫合金、氟化物等。靶中毒的解決辦法:控制鍍膜模式的變換:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應曲線。杭州多弧靶

半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。南通氧化釔鋯靶調試

而射頻濺射的使用范圍更為***,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還司進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。濺射靶材射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。

三.真空鍍膜中靶材中毒會出現哪些想象,如何解決?

1、靶面金屬化合物的形成。

由金屬靶面通過反應濺射工藝形成化合物的過程中,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產生化學反應生成化合物原子,通常是放熱反應,反應生成熱必須有傳導出去的途徑,否則,該化學反應無法繼續進行。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導,所以,化學反應必須在一個固體表面進行。反應濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結構表面進行。 南通氧化釔鋯靶調試

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外知名研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列高品質濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供高品質的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。

標簽: 靶材
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