立式爐是否支持 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的智能工廠互聯(lián)協(xié)議？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-02

支持 SEMI E4、E5、E37 等通信協(xié)議，可與半導(dǎo)體工廠的智能制造系統(tǒng)（SMES）無縫對接，實現(xiàn)工藝數(shù)據(jù)實時追溯和設(shè)備狀態(tài)遠(yuǎn)程監(jiān)控。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐已通過 SEMI S2/S8 安全認(rèn)證，滿足半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛要求。

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