輪廓儀的技術原理
被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重復性: 0.01nm
垂直掃描法
(VSI+CSI)
精度: ?/1000 干涉信號~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉測量技術:快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
以下來自網絡:
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。
但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。光電輪廓儀出廠價
輪廓的角度處理:
角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數曲線 。
白光輪廓儀的典型應用:
對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
美國輪廓儀售后服務隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石。
輪廓儀白光干涉的創始人:
邁爾爾遜
1852-1931
美國物理學家
曾從事光速的精密測量工作
邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。
1881年,他發明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。
他和美國物理學家莫雷合作,進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗,否定了以太de 存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。
由于創制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。
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使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
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1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準,具有穩定性好、承載大、**磨損等優點,達到國內同類產品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數據采樣分辨率,準確度高,穩定性好。(網絡) 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。
關于三坐標測量輪廓度及粗糙度
三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內,還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數,作為評定該物件是否合格的標準。CSI輪廓儀測樣
擯棄傳統檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。光電輪廓儀出廠價
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。(來自網絡)
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