Total Thickness Variation (TTV) 應(yīng)用
規(guī)格:
測(cè)量方式:
紅外干涉(非接觸式)
樣本尺寸:
50、75、100、200、300 mm， 也可以訂做客戶(hù)需要的產(chǎn)品尺寸
測(cè)量厚度:
15 — 780 μm (單探頭)
3 mm (雙探頭總厚度測(cè)量)
掃瞄方式:
半自動(dòng)及全自動(dòng)型號(hào),
另2D/3D掃瞄(Mapping)可選
襯底厚度測(cè)量: TTV、平均值、*小值、*大值、公差...
可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)
重復(fù)性:
0.1 μm (1 sigma)單探頭*
0.8 μm
(1 sigma)雙探頭*
分辨率:
10 nm
請(qǐng)?jiān)L問(wèn)我們的中文官網(wǎng)了解更多關(guān)于本產(chǎn)品的信息。
幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動(dòng)測(cè)繪。人工加載或機(jī)器人加載均可。高校膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用F3-CS：
Filmetrics的F3-CS 專(zhuān)門(mén)為了微小視野及微小樣品測(cè)量設(shè)計(jì), 任何人從**操作到研&發(fā)人員都可以此簡(jiǎn)易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內(nèi)測(cè)量如聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層厚度.
我們具專(zhuān)利的自動(dòng)校正功能大幅縮短測(cè)量設(shè)置並可自動(dòng)調(diào)節(jié)儀器的靈敏度, 使用免手持測(cè)量模式時(shí), 只需簡(jiǎn)單地將樣品面朝下放置在平臺(tái)上測(cè)量樣品 , 此時(shí)該系統(tǒng)已具備可測(cè)量數(shù)百種膜層所必要的一切設(shè)置不管膜層是否在透明或不透明基底上.
快速厚度測(cè)量可選配FILMeasure厚度測(cè)量軟件使厚度測(cè)量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易, 軟件內(nèi)建所有常見(jiàn)的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層（包括C，N和HT型聚對(duì)二甲苯）的光學(xué)常數(shù)(n和k）,厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺(jué)的測(cè)量結(jié)果顯示對(duì)于進(jìn)階使用者，可以進(jìn)一步以F3-CS測(cè)量折射率, F3-CS可在任何運(yùn)行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行, USB電纜則提供電源和通信功能. 半導(dǎo)體薄膜膜厚儀芯片行業(yè)一般較短波長(zhǎng) (例如， F50-UV) 可用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長(zhǎng)波長(zhǎng)可以測(cè)量更厚、更不平整和更不透明的薄膜。
其可測(cè)量薄膜厚度在1nm到1mm之間，測(cè)量精度高達(dá)1埃，測(cè)量穩(wěn)定性高達(dá)，測(cè)量時(shí)間只需一到二秒,并有手動(dòng)及自動(dòng)機(jī)型可選。可應(yīng)用領(lǐng)域包括：生物醫(yī)學(xué)（Biomedical）,液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼鏡涂層(Ophthalmic),聚對(duì)二甲笨(Parylene),電路板(PCBs&PWBs),多孔硅(PorousSilicon),光阻材料(ThickResist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors),太陽(yáng)光伏(Solarphotovoltaics),真空鍍層(VacuumCoatings),圈筒檢查(Webinspectionapplications)等。通過(guò)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x*新反射式光譜測(cè)量技術(shù),*多4層透明薄膜厚度、n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測(cè)得。其應(yīng)用***，例如:半導(dǎo)體工業(yè):光阻、氧化物、氮化物。LCD工業(yè):間距(cellgaps)，ito電極、polyimide保護(hù)膜。光電鍍膜應(yīng)用:硬化鍍膜、抗反射鍍膜、過(guò)濾片。極易操作、快速、準(zhǔn)確、機(jī)身輕巧及價(jià)格便宜為其主要優(yōu)點(diǎn)，F(xiàn)ilmetrics提供以下型號(hào)以供選擇:F20:這簡(jiǎn)單入門(mén)型號(hào)有三種不同波長(zhǎng)選擇(由220nm紫外線(xiàn)區(qū)至1700nm近紅外線(xiàn)區(qū))為任意攜帶型，可以實(shí)現(xiàn)反射、膜厚、n、k值測(cè)量。F30:這型號(hào)可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口。可實(shí)時(shí)監(jiān)控長(zhǎng)晶速度、實(shí)時(shí)提供膜厚、n、k值。并可切定某一波長(zhǎng)或固定測(cè)量時(shí)間間距。
F10-ARc
獲得**精確的測(cè)量.自動(dòng)基準(zhǔn)功能**增加基準(zhǔn)間隔時(shí)間, 量測(cè)準(zhǔn)確性?xún)?yōu)於其他光纖探頭反射測(cè)量系統(tǒng)5倍可選擇UPG - F10-AR - HC軟件升級(jí) 測(cè)量0.25-15μm硬涂層的厚度. 即使在防反射涂層存在時(shí)仍可測(cè)量硬涂層厚度我們***探頭設(shè)計(jì)可排除98％背面反射,當(dāng)鏡片比1.5mm 更厚時(shí), 可排除比例更高修正了硬膜層造成的局部反射扭曲現(xiàn)象。
F10-ARc：200nm - 15μm** 380-1050nm
當(dāng)您需要技術(shù)支援致電我們的應(yīng)用工程師，提供即時(shí)的24小時(shí)援助（週一至週五）網(wǎng)上的 “手把手”
支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃 厚度變化 (TTV) ；溝槽深度；過(guò)孔尺寸、深度、側(cè)壁角度。
自動(dòng)厚度測(cè)量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動(dòng)測(cè)繪。人工加載或機(jī)器人加載均可。
在線(xiàn)厚度測(cè)量系統(tǒng)監(jiān)測(cè)控制生產(chǎn)過(guò)程中移動(dòng)薄膜厚度。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個(gè)測(cè)量位置得到。
附件Filmetrics 提供各種附件以滿(mǎn)足您的應(yīng)用需要。
F20 系列世界上****的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)只需按下一個(gè)按鈕，您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡(jiǎn)單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , F20已在世界各地有成千上萬(wàn)的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上，我們每天從我們的客戶(hù)學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.
選擇您的F20主要取決於您需要測(cè)量的薄膜的厚度（確定所需的波長(zhǎng)范圍）
測(cè)量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應(yīng)用。美國(guó)膜厚儀推薦廠(chǎng)家F50-EXR測(cè)厚范圍：20nm-250μm；波長(zhǎng)：380-1700nm。高校膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用
不管您參與對(duì)顯示器的基礎(chǔ)研究還是制造，F(xiàn)ilmetrics 都能夠提供您所需要的...測(cè)量液晶層- 聚酰亞胺、硬涂層、液晶、間隙測(cè)量有機(jī)發(fā)光二極管層- 發(fā)光、電注入、緩沖墊、封裝對(duì)于空白樣品，我們建議使用 F20 系列儀器。 對(duì)于圖案片，F(xiàn)ilmetrics的F40用于測(cè)量薄膜厚度已經(jīng)找到了顯示器應(yīng)用***使用。
測(cè)量范例此案例中，我們成功地測(cè)量了藍(lán)寶石和硼硅玻璃基底上銦錫氧化物薄膜厚度。與Filmetrics專(zhuān)有的ITO擴(kuò)散模型結(jié)合的F10-RTA-EXR儀器，可以很容易地在380納米到1700納米內(nèi)同時(shí)測(cè)量透射率和反射率以確定厚度，折射率，消光系數(shù)。由于ITO薄膜在各種基底上不同尋常的的擴(kuò)散，這個(gè)擴(kuò)展的波長(zhǎng)范圍是必要的。 高校膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)等，目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn)，為客戶(hù)提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí)，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶(hù)為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念，全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。