NanoX-2000/3000
系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光
垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學輪廓儀
耐用性更強， 使用無損
可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便
具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存。干涉儀輪廓儀有哪些品牌輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術封裝生產線檢測
集成電路工藝技術研發和產業化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術研發、產業化
MEMS技術研發和產業化
新型顯示技術研發、產業化
超高精密表面工程技術
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網絡） PSI輪廓儀參數擯棄傳統檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，大 大提高加工效率。
新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔*后，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現今*高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規范的粗糙度參數都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長過濾，都包含在基film3D軟件。對于更進階的功能，Filmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進一步處理film3D數據，這當然也與業界其他標準分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經是我們的標準配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標準片建立標準每film3D配備了一個10微米階高標準片，可達％準確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標準片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優異地提供更寬廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要。更進一步減少總體成本。
我們的輪廓儀有什么優勢呢
世界先進水平的產品技術
合理的產品價格
24小時到現場的本地化售后服務
無償產品技術培訓和應用技術支持
個性化的應用軟件服務支持
合理的保質期后產品服務
更佳的產品性價比和更優解決方案
非接觸式輪廓儀（光學輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。（本段來自網絡） 200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。
NanoX-8000 系統主要性能
? 菜單式系統設置，一鍵式操作，自動數據存儲
? 一鍵式系統校準
? 支持連接MES系統，數據可導入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度
最快
如果需要了解更多詳細參數，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。
我們主要經營鍵合機、光刻機、輪廓儀，隔振臺等設備。 由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。白光干涉輪廓儀可以試用嗎
NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ；準確度<1% ；重復性<0.1% (1σ，10um臺階高)。干涉儀輪廓儀有哪些品牌
1.3. 培訓計劃
在完成系統布線并開始設備安裝后，即向甲方和業主介紹整個系統的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等，讓甲方和業主對整個系統有一個全 面的認識。
在整個系統驗收前后，安排有關人員在進行培訓。
1.4. 培訓形式
公司指派技術人員向相關人員講解系統的原理、功能、操作及維修保養要點；
向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料，使學員對系統的各個方面都能熟練掌握；
針對系統的具體操作一一指導，使相關人員掌握技術要領；
對學員提出的問題進行詳細解答；
干涉儀輪廓儀有哪些品牌
岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司。公司業務涵蓋磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發等，價格合理，品質有保證。公司將不斷增強企業重點競爭力，努力學習行業知識，遵守行業規范，植根于儀器儀表行業的發展。在社會各界的鼎力支持下，持續創新，不斷鑄造高品質服務體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持。