重慶納米壓印有哪些應用

來源: 發布時間:2020-04-13

SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,可用于顯示器,生物技術和光子應用中的許多新創新。例如,SmartNIL提供了無與倫比的全區域共形壓印,以便滿足面板基板上線柵偏振器的最重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結構的微流控芯片進行高精度圖案化,以支持下一代藥 物研究和醫學診斷設備的生產。此外,SmartNIL的最 新發展為制造具有最 高功能,最小外形尺寸和大體積創新型光子結構提供了更多的自由度,這對于實現衍射光學元件(DOE)至關重要。


特征:

體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度

專有SmartNIL ®技術,多使用聚合物印模技術

經過生產驗證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場壓印

總擁有成本最 低

在地形上留下印記

對準能力

室溫過程

開放式材料平臺 EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統,使用分步重復納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作。重慶納米壓印有哪些應用

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統。


EVG的HERCULES ® NIL產品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術


HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案,適用于最 大200 mm的晶圓,是EVG的NIL產品組合的最 新成員。HERCULES

NIL基于模塊化平臺,將EVG專有的SmartNIL壓印技術與清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟相結合。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務”,將裸露的晶圓裝載到工具中,然后將經過完全處理的納米結構晶圓退回。 四川納米壓印推薦廠家EVG ? 720是自動SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統。

EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統

具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統,從碎片到最 大150毫米。

該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉換時間僅為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求,因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。


NIL已被證明是在大面積上實現納米級圖案的最 具成本效益的方法,因為它不受光學光刻所需的復雜光學器件的限制,并且它可以為極小尺寸(小于100分)提供最 佳圖案保真度nm)結構。

EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術,可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現無與倫比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。另外,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當的時間。

新應用程序的開發通常與設備功能的提高緊密相關。 EVG ? 7200是自動SmartNIL ? UV納米壓印光刻系統。

    它為晶圓級光學元件開發、原型設計和制造提供了一種獨特的方法,可以方便地接觸最 新研發技術與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術確保在如3D感應的應用中使用小尺寸的高 分辨率光學傳感器供應鏈合作推動晶圓級光學元件應用要在下一代光學傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產,先進的粘合劑與抗蝕材料發揮著不可取代的作用。開發先進的光學材料,需要充分地研究化學、機械與光學特性,以及已被證實的大規模生產(HVM)的可擴展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性,以及自動化模制和脫模的專業知識,才能在已驗證的大規模生產中,以最小的形狀因子達到晶圓級光學元件的比較好性能。材料供應商與加工設備制造商之間的密切合作,促成了工藝流程的研發與改善,確保晶圓級光學元件的高質量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產品,并增強雙方的專業技能,從而適應當前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業的工藝技術,并將加快新產品設計與原型制造的速度,為雙方的客戶保駕護航。“NILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是:它解決了行業內部需要用更短時間研發產品的需求,同時保障比較高的保密性。EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,能夠輕松地適應各種材料組合,以用于工作印模和微透鏡材料。EVG納米壓印免稅價格

SmartNIL 非常適合對具有復雜納米結構微流控芯片進行高精度圖案化,用在下一代藥 物研究和醫學診斷設備生產。重慶納米壓印有哪些應用

客戶示范

■工藝開發

■材料測試

■與合作伙伴共同研發

■資助項目

■小批量試生產

■IP管理

■過程技術許可證

■流程培訓

→世界一 流的潔凈室基礎設施

→最 先 進的設備

→技術專家

→專用計量

→工藝知識

→應用知識

→與NIL的工作印模材料和表面化學有關的化學專業知識


新應用程序的開發通常與設備功能的提高緊密相關。 EVG的NIL解決方案能夠產生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,并在顯示器,生物技術和光子應用中實現了許多新的創新。

岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。


重慶納米壓印有哪些應用

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