廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-30
通過氮氣置換可將氧含量控制在≤100ppm,選配高精度氣體純化系統可低至≤10ppm。廣東華芯半導體技術有限公司的立式爐采用雙門互鎖和迷宮式密封結構,減少外界空氣滲入,確保低氧環境穩定性。
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